各地政府也出台了相关的排放标准,为电子工业VOC治理提供了保证。小编汇总了相关的标准,以供参考。若有疏漏,敬请谅解。
国家层面:
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 半导体器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3,新建企业为80mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子元件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3,新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子终端产品》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为70mg/m3,新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准平板显示器、电真空及光电子器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3,新建企业为80mg/m3。
2015年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(征求意见稿)规定非甲烷总烃zui高允许排放浓度为100mg/m3,特别排放限值是80mg/m3,没有涉及TVOCs。
2018年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(二次征求意见稿)规定非甲烷总烃zui高允许排放浓度为100mg/m3,TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。
地方层面:
北京市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)中规定半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3,新建企业为20mg/m3。
天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》(DB12/524-2014)。规定电子工业VOCszui高允许排放浓度为80mg/m3。
上海市《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)。规定VOCs最gao允许排放浓度为100mg/m3。
2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最gao允许排放浓度为30mg/m3。
2017年广东省《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最gao允许排放浓度为40mg/m3。
2018年江苏省《半导体行业污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最gao允许排放浓度为60mg/m3。
2018年北京市《电子工业大气污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最gao允许排放浓度为20mg/m3,TVOCs是40mg/m3。
1、针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术,主要还是吸附法、焚烧法。
2、吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,吸附剂选择性高,活性炭属非极性吸附剂,对非极性化合物有较强的吸附能力,一般可净化低浓度VOCs,净化效率可达到90%以上。
3、沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮,废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区,使VOCs得到浓缩,再经脱附燃烧处理,去除效率可在98%。但是相对来说投资就比较高了,有很多的企业无法接受动辄上百万的废气处理投资。
4、建议采用催化氧化设备技术来处理电子厂废气,相对于冷凝、炭吸附、低温等离子等废气处理技术,在电子厂废气使用多相催化氧化设备技术时更科学、更安全,且性价比也更高。通过该套设备处理废气,废气净化率可达90%以上,且无二次污染。